公司新闻  News

阿尔卑斯推出业界最小压电式MEMS压力传感器


阿尔卑斯推出业界*小压电式MEMS压力传感器
     阿尔卑斯电气推出了业界*小的压电式MEMS压力传感器。尺寸方面,压力传感器单个元件的小型型号为2.5mm×2.5mm×0.7mm。内置放大器的型号为3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于检测气压及高度等优良压力。  压力检测的原理如下。来自外部的压力会使压力传感器的隔膜弯曲。如果隔膜弯曲,在隔膜上形成的压电电阻元件就会变形。这样一来,就可以将变形产生的电阻变化作为电压信号读取出来。  压电式MEMS压力传感器可轻松实现小型化的原因是,可直接将隔膜的弯曲量当作压电电阻元件的电阻变化来捕获,从而实现简单的元件结构。另外,通过采用薄膜工艺技术、微细加工技术及封装技术,也可减小传感器元件尺寸,使其达到业界*小。  阿尔卑斯电气表示,通过采用以下3项技术,减小了压力传感器性能的不稳定性。这3项技术分别为,通过优化蚀刻条件,开发出了可形成稳定腔体(Cavity)结构的技术;实现了可减小外应力影响的Si-Si密封接合;采用了对温度变化适应性强的陶瓷材料。
产品搜索:
  联系我们  Contact us
  产品目录  product Catalog
Copyright© 2003-2020  江苏金湖华升计量仪器有限公司版权所有   电话:0517- 86696505 86986880 13301403246 86994588 (微信同号) 传真:0517-86986881 地址:江苏金湖工业园区金湖广场4号楼 邮编:211600 苏ICP备09042423号
 

苏公网安备 32083102000209号